国度常识产权局信息暴露，新毅东（北京）科技有限公司获取一项名为“具有掩模版算帐功能的光刻机”的专利，授权公告号CN224109774U，央求日历为2025年6月。
专利摘记暴露，本实用新式属于半导体制造时刻规模，公开了一种具有掩模版算帐功能的光刻机。该具有掩模版算帐功能的光刻机包括通信流畅的在线检测系统和算帐系统。算帐系统安设于在线检测系统的一侧或安设于在线检测系统里面，在线检测系统用于检测掩模版的名义是否存在异物颗粒，算帐系统用于对掩模版的名义进行吹淋清洁贬责，算帐系统包括风淋件和抽气件，风淋件和抽气件均安设于在线检测系统的掩模版进口处，风淋件的风淋口位于掩模版的上方且与掩模版的名义相对诞生，抽气件的吸取口位于掩模版的下方且与风淋口相对诞生，抽气件用于汇集风淋口吹扫的异物颗粒。具有掩模版算帐功能的光刻机梗概有用栽植清洁精确度，尊龙app优化异物颗粒的清洁成果。
天眼查费力暴露，新毅东（北京）科技有限公司，开发于2014年，位于北京市，是一家以从事专用开辟制造业为主的企业。企业注册本钱15000万东说念主民币。通过天眼查大数据分析，新毅东（北京）科技有限公司共对外投资了13家企业，参与招投标形势88次，财产陈迹方面有商标信息31条，专利信息150条，此外企业还领有行政许可7个。
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